E14300 - SEMI E143 - Test Method for Measuring Power and Variation into a 50-Ω Load and Power Variation and Spectrum into a Load with a VSWR of 2.0 at any phase Angle StdVol-Silicon Materials & Process Control

E14300 - SEMI E143 - Test Method for Measuring Power and Variation into a 50-Ω Load and Power Variation and Spectrum into a Load with a VSWR of 2.0 at any phase Angle StdVol-Silicon Materials & Process ControlThe purpose of this Test Method is to provide an accurate method for measuring the output power and spectral content of radio frequency (RF) generators being driven into both matched and mismatched loads to simulate their actual performance in RF power delivery systems for semiconductor processing equipment to support SEMI E113. This Test Method specifies the testing procedures and test equipment required for precisely determining the output power and

NOTICE: This Document is no longer supported by the global technical committee

and repair the equipment

SEMI C54 — Specification and Guide for Oxygen

メッセージ交換は，トランザクションプロトコルと呼ばれる手順により実行される。SECS-IIを採用する装置に対しては，このトランザクションプロトコル上からの最小限の要求がある。

本スタンダードは，global Gases Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2011年12月24日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2012年4月にwww

orgで入手可能となる。前版は2014年4月に出版された。

本書内で参照されている浸出テストとこれに関連する要求条件は，静的な状態での数値を提供する。

ポイント･トゥ･ポイントのメッセージ通信の要求／応答の構造

This Standard was technically approved by the Flat Panel Display – Color Global Technical Committee

stacking faults

SEMI E35-1022 (technical revision)

where a 450 FOUP and 450 MAC can be loaded and unloaded