E05400 - SEMI E54 - センサ／アクチュエータネットワークのスタンダード Revision:SEMI E54-0708 - Superseded SEMI F1 — Specification for

SEMI F1 — Specification for Leak Integrity of High-Purity Gas Piping System and Components

本スタンダードは，適切な仕様レベルを設定することを目的とし，すべてのメカニカルインタフェースにおいてモジュール化と互換性を確保しつつ，技術革新への制限を最小限にしようとするものである。本仕様では，目的とする基板の表面の条件をあまり制限せず，その基板の長さと幅を基準にして各寸法の最大値や最小値を定義することにより，ほとんどの要求条件を代数的に表現している。カセットのメカニカルインタフェースだけが規定されている。すなわち，材料に対する要求条件やミクロでの汚染の制限などは規定されていない。ただし，本スタンダードは色々な設計や材料のカセットがこれに準拠して製造されるようにまとめている。

2  This Guide covers specification requirements

半導体製造は，ミニエンバイロメントや製造装置内で行われることが多くなっている。静電気に関連した問題の多くは，その製品がキャリア内に保管中，キャリアからの移載，または，製造装置により取り扱う際に引き起こされる。

E05400 - SEMI E54 - センサ／アクチュエータネットワークのスタンダード Revision:SEMI E54-0708 - Superseded SEMI F1 — Specification forglobal Information & Control Technical Committee2013314global Audits and Reviews Subcommittee20134www. semiviews. org www. semi. org199720087 SEMI E54SEMI E54. 10413 SEMI E54 SEMI E54. 1SEMI E54 SEMISANSEMI SAN SANSEMI SAN Subordinate Documents: SEMI E54. 1 0708 (Reapproved 0413) Standard for Sensor Actuator Network Common Device Model SEMI E54. 2 0698 (Reapproved 0710) Guide for Writing Sensor Actuator Network (SAN) Standard Ballots Referenced SEMI